Totigilima Lijiejing 9-inisi Low Chloroprene: O le Tulaga Fa'atonu Fou i le Puipuiga Mama mo le Gaosiga o Semiconductor

I le tulaga o le faʻateleina o manaʻoga "leai se faʻaletonu" i le gaosiga o semiconductor, o totigilima Lijie 9-inisi maualalo-chlorine nitrile ua avea ma meafaigaluega puipuia taua i le gaosiga o wafer ma vaega o afifiina o chip ona o latou ionic residue maualalo ma le maualuga o le mama. E ala i le faagasologa faapitoa, o le aofaʻi o le chlorine i totonu o le totigilima e pulea lelei i le ≤50ppm—e sili atu nai lo le tulaga masani o le alamanuia o le 100ppm. O lenei mea e puipuia ai tulaga lamatia o le ele e mafua mai i le femalagaiga o le chloride ion i luga o luga o wafer, ma ausia ai manaʻoga malolosi a le gaosiga o semiconductor mo le puleaina o le faʻaleagaina o microscopic.

I le taimi o faiga o le lithography, o le mama o totigilima e aʻafia saʻo ai le saʻo o le ufiufi photoresist ma taunuuga o le faʻaalia. O lenei oloa, lea na gaosia i totonu o potu mama o le Vasega 100,000 ma ua faʻaaogaina i le aveeseina o le pefu laser, e faʻaalia ai le faʻasalalauina o vaega o luga e i lalo ifo o le 0.2 vaega/inisi faatafafa—e ausia ai tulaga faʻatonuina o le potu mama o le ISO Vasega 3. O lenei mea e puipuia ai le pipii o vaega laiti i luga o le wafer, ma faʻaitiitia ai faʻaletonu o le lithography. O le mamanu e 9-inisi le umi e maua ai le ufiufi atoa mai le tapulima i le alofilima. Faʻatasi ai ma se fausaga elastic cuff, e faʻamautinoa ai le fetuʻunaʻi o le faʻagaioiga aʻo puipuia ai le tafe o le pefu i le avanoa o le lima, e ausia ai manaʻoga faigata mo siosiomaga mama faʻaonaponei i faiga o le lithography.

I le taimi o faiga e aofia ai ni vailaʻau e matuā ʻeleʻelea e pei o le etching ma le ion implants, o nei totigilima e faʻaalia ai le teteʻe tele i vailaʻau. A maeʻa le 24 itula o suʻega faʻasusu i totonu o vailaʻau masani o semiconductor e pei o le hydrofluoric acid ma le phosphoric acid, e leai se fulafula poʻo se māvaevae, ma se fua faatatau o le suiga o le mamafa i lalo ifo o le 0.8%. O lenei mea e maua ai le puipuiga faʻatuatuaina o lima mo tagata faʻagaoioia aʻo aveʻesea ai lamatiaga o le faʻaleagaina o le vailaʻau mai le faʻaleagaina o totigilima. O tamatamailima o loʻo i ai le 0.02mm laser-engraved anti-slip textures, e faʻateleina ai le feteʻenaʻiga e 35% pe a taulimaina ni wafers e 12-inisi ma faʻaitiitia ai le lamatiaga o le seʻe o le wafer e 60%. O lenei mea e ausia ai se paleni i le va o le saogalemu puipuia ma le mautu o le faʻagaioiga.

O nei totigilima ua fa'amaonia i tulaga fa'atonuina o le SEMI F57, o lo'o fa'aaogaina i laina gaosiga tele i fale gaosi oloa ta'uta'ua e aofia ai le SMIC ma le Hua Hong Semiconductor. Latou te fa'aitiitia le fua o otaota o le wafer e mafua mai i le pa'i atu i lima i le 38%, ma fa'atuina ai i latou lava o se filifiliga sili ona lelei i le gaosiga o semiconductor mo le paleniina o le puipuiga o potu mama ma le lelei o le fa'agaioiga.